螺桿真空泵是利用一對(duì)螺桿在泵殼內(nèi)進(jìn)行同步高速反向旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生吸氣和排氣的抽氣裝置。是油封式真空泵的換代產(chǎn)品。在粉塵量少的氣體場(chǎng)合，廣泛應(yīng)用于制藥、化工、半導(dǎo)體等需要高潔凈真空的企業(yè)。

兩個(gè)螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼內(nèi)。螺桿之間有一定的間隙，所以泵在工作時(shí)，相互之間沒有摩擦，運(yùn)行平穩(wěn)，噪音低，工作腔不需要潤(rùn)滑。因此，螺桿真空泵可抽出含有大量水蒸氣和少量粉塵的氣體，真空度更高，功耗更低，具有節(jié)能、免維護(hù)等優(yōu)點(diǎn)。是油封式真空泵的換代產(chǎn)品。

各種真空泵的發(fā)展越來越受到真空應(yīng)用的影響。一般的真空系統(tǒng)不能滿足清潔、無油、耐腐蝕的要求。因此，近年來螺桿真空泵的市場(chǎng)需求非常大，真空產(chǎn)品不斷更新?lián)Q代。因此，大量油基真空系統(tǒng)已被無油清潔真空系統(tǒng)所取代 國(guó)外幾乎每家大型真空公司都生產(chǎn)各種型號(hào)的螺桿真空泵。螺桿真空泵是一種非接觸式干泵，是1990年代初出現(xiàn)的一種理想類型的泵。其抽速范圍廣、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、無摩擦、使用壽命長(zhǎng)、能耗低、抽氣腔部件無油污等優(yōu)點(diǎn)，可廣泛使用。

由于其優(yōu)越的性能，螺桿真空泵已成為歐美日等微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密機(jī)械加工等行業(yè)常用的真空獲取設(shè)備。日本在螺桿壓縮機(jī)的基礎(chǔ)上，很早就研制出了用于真空泵的多頭轉(zhuǎn)子并投放市場(chǎng)。幾家德國(guó)真空設(shè)備公司也逐漸開發(fā)出螺距和變螺距轉(zhuǎn)子型材，并在轉(zhuǎn)子和機(jī)體冷卻方面做了大量的研究。

螺桿真空泵具有節(jié)能、免維護(hù)等優(yōu)點(diǎn)。是油封/噴射/水環(huán)真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，已廣泛應(yīng)用于各大醫(yī)藥化工企業(yè)。根據(jù)不同的工藝條件，螺桿真空泵的過流部分（即轉(zhuǎn)子、泵體等與氣體接觸的部分）有防腐涂層，包括鎳磷涂層和聚四氟乙烯。